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BM6X 시리즈 축 유량 긴급 차단 밸브 BM6X 시리즈 축 유량 긴급 차단 밸브는 조절 스테이션과 가스 이송 및 분배 라인에 안전 장치로 설치하기에 적합한 자동 차단 장치입니다. 웨이퍼에 일반적인 감소된 면-면 치수 덕분에 차단 장치가 없는 기존의 조절 스테이션에도 설치가 용이합니다.