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Tescom-P-64-3200

TESCOM™ 64-3200 시리즈 BSGS 압력 조절기

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선정 제품 설명

64-3200 시리즈 초고순도 고유량 고정 다이어프램 감압 레귤레이터는 10 Ra 마이크로인치/0.25 마이크로미터 표면 마감 처리되었으며, Hastelloy® 트림으로 제공됩니다. 150, 1000, 1500psig/10.3, 69.0, 103bar의 인입구 압력 및 최대 200psig/13.8bar의 배출구 압력으로 최대 유동 속도는 31.8 SCFM/900 SLPM입니다. 벌크 특수 가스 시스템(BSGS), 1/2" POU(사용점), 도구 연결 및 가스 캐비닛에서 사용하기에 이상적입니다.

사양

압력 등급
최대 인입구 압력: 150, 1000, 1500 psig / 10.3, 69.0, 103 bar
배출구 압력 범위: 30, 60, 100, 150, 200 psig / 2.1, 4.1, 6.9, 10.3, 13.8 bar
바디 재질
316L 스테인리스 강 전해 연마 또는 316L VAR 스테인리스 강 전해 연마
다이어프램
Hastelloy®
시트 리테이너
316 스테인리스 강
포핏
316 스테인리스 강 또는 Hastelloy®
밸브 시트
Teflon®, Vespel®, PCTFE
나머지 부품
316 스테인리스 강
작동 온도
Teflon® 시트: -40 ~ 160°F/-40 ~ 71°C
Vespel® 시트: -40 ~ 350°F/-40 ~ 177°C
PCTFE 시트: -40 ~ 140°F/-40 ~ 60°C
포트 크기 및 유형
1, 3/8, 3/4, 1/2 튜브 말단
1/4, 1/2, 3/4
수형 고정, 수형 스위블(정상 및 고유량), 암형 스위블(정상 및 고유량)
유량
Cv = 1.2
무게(게이지 미포함)
3.5lbs/1.6kg
추가 정보
맞춤 개조나 전체 시스템 솔루션에 대해서는 해당 지역 영업 사무소에 문의하십시오.

특징

  • 고유량 벌크 특수 가스용으로 설계
  • Hastelloy®  트림 옵션을 제공합니다.
  • 확실한 차단 씰, 고정 다이어프램 설계
  • 높은 누설 무결성을 위한 금속-금속 다이어프램 및 본체 씰
  • 포집 보닛

문서 및 도면